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當(dāng)臺(tái)式電鏡遇見(jiàn)肖特基場(chǎng)發(fā)射電子源

 發(fā)布時(shí)間:2019/3/7 點(diǎn)擊量:1482
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詳細(xì)介紹:

在2018 年之前,為何沒(méi)有看到使用肖特基場(chǎng)發(fā)射電子源(FEG)的臺(tái)式掃描電子顯微鏡(SEM)呢?為何在臺(tái)式掃描電鏡(SEM)中使用場(chǎng)發(fā)射電子源(FEG)是十分的呢?

 

當(dāng)臺(tái)式掃描電鏡遇見(jiàn)場(chǎng)發(fā)射電子源

 

臺(tái)式掃描電鏡(SEM)是一個(gè)相對(duì)年輕且發(fā)展迅速的產(chǎn)品。其實(shí)許多應(yīng)用領(lǐng)域并不需要使用低于1 nm 的超高分辨率掃描電鏡(SEM),10 nm 的分辨率是綽綽有余的。然而,由于材料特征點(diǎn)尺寸越來(lái)越小和觀(guān)測(cè)需求的增加,臺(tái)式掃描電鏡(SEM)用戶(hù)有時(shí)希望設(shè)備能夠具有更好的分辨率,并且保持測(cè)樣效率不變、操作依然簡(jiǎn)便。

 

飛納臺(tái)式場(chǎng)發(fā)射掃描電鏡的誕生

 

在設(shè)計(jì)新的掃描電鏡(SEM)時(shí)會(huì)出現(xiàn)諸多挑戰(zhàn)。通常,為了獲得更好的性能,新設(shè)備的規(guī)格需要更高的要求。另一個(gè)挑戰(zhàn)是新系統(tǒng)的出現(xiàn),不會(huì)影響到飛納臺(tái)式掃描電鏡(SEM)的操作簡(jiǎn)便性??梢宰寷](méi)有掃描電鏡(SEM)操作經(jīng)驗(yàn)的實(shí)驗(yàn)室管理員能夠在短時(shí)間內(nèi)熟練操作電鏡。那么,當(dāng)飛納電鏡從CeB6電子源升級(jí)到FEG 電子源時(shí),將面臨的挑戰(zhàn)是什么?

 

首先,需要分析掃描電鏡(SEM)電子源之間的差異。

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