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使用飛納電鏡實現(xiàn)掃描電鏡圖像自動化分析

 發(fā)布時間:2018/10/10 點擊量:2266
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詳細介紹:

腳本是一種小型的自動化軟件,它可以幫助掃描電鏡(SEM)操作者更地完成他們的工作。在之前的博客中,介紹了如何使用飛納臺式掃描電鏡編程接口(PPI)獲取掃描電鏡(SEM)圖像。在這篇博客中,將介紹如何從這些掃描電鏡(SEM)圖像中獲取樣品的物理屬性從而實現(xiàn)對樣品的分析。

 

掃描電鏡(SEM)自動化工作流程

 

使用掃描電鏡獲取圖像通常包括如圖1所示的幾個步驟,其中,四個步驟可以使用PPI進行自動控制:

 

1.圖像采集

2.分析

3.評估

4.生成報告

 

在圖像采集(步驟1)中,圖像可以由PPI和飛納掃描電鏡自動獲取。在分析(步驟2)時,我們可以從圖像中獲取樣品的物理屬性,然后根據(jù)這些物理屬性對材料進行評估(步驟3)。后,步驟(4)將自動生成報告,并將結果報告呈現(xiàn)給用戶。

 

圖1:掃描電鏡工作流程(主要操作步驟)

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