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如何利用掃描電鏡進行自動化分析?

 發(fā)布時間:2018/1/15 點擊量:1890
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詳細介紹:

在之前的博客中,描述了掃描電鏡(SEM)自動化分析是如何節(jié)省研究人員和操作員的寶貴時間。掃描電鏡的操作者使用電鏡的目的各不相同。這篇博客詳細描述了掃描電鏡(SEM)在自動化的激光損傷閾值測試(LIDT)中的應(yīng)用。

 

掃描電鏡(SEM):自動化的激光損傷閾值測試

 

較強的激光會破壞光學(xué)器件,如鏡面,光學(xué)涂層或纖維。為了選擇合適的光學(xué)器件, 發(fā)現(xiàn)多大能量的激光會損害一個組件,或者*地改變其光學(xué)特性是十分重要的。

 

圖一:光學(xué)涂層被激光損傷后的掃描電鏡背散射(BSD)圖片

 

為了確定準確的激光能量影響大小,需要進行激光損傷閾值測試。柵格圖樣中的光學(xué)器件暴露在具有不同強度和波長的激光中。在接觸激光后,使用不同類型的光學(xué)顯微鏡和掃描電鏡檢查這些光學(xué)器件的損傷程度。網(wǎng)格包含數(shù)百個不同的點,每個點都必須檢測。人工手動測試將需要消耗大量的時間。

 

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