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噴鍍及不噴鍍對掃描電鏡成像的影響

 發(fā)布時間:2016/6/16 點擊量:2834
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飛納電鏡帶你感受噴鍍及不噴鍍對掃描電鏡成像的影響

 

對導電性不好的樣品進行噴鍍處理,一是可避免材料荷電。所謂荷電是入射電子的量大于產(chǎn)生的二次電子或者背散射電子的數(shù)量,從而導致在材料表面形成電子的富集(產(chǎn)生負電位)。由于負負相斥的原理,使得后面的入射電子不能在材料表面會聚,產(chǎn)生一系列的后果,例如聚焦不太容易聚清楚,表面形成一道一道白色的二次電子突然放電的現(xiàn)象。因此要得到滿意的形貌,應該在材料表面形成一個有效的電子通路,即在樣品臺和材料表面有導電通路。*的辦法就是在表面鍍膜,這就是為什么掃描電鏡要鍍膜的原因。另一個原因是增加二次電子發(fā)射率,使圖像信噪比增強,使圖片看上去更漂亮。

 

但是對于某些樣品,噴鍍處理后不能準確反映樣品的真實形態(tài)。例如對涂層樣品來說,背散射電子情況下,由于電鏡背散射電子成像原理:圖像亮度和元素原子序數(shù)成正比,原子序數(shù)越高,圖像越亮,樣品經(jīng)過噴金處理后(圖 1),表面覆蓋了一層金,圖像亮度基本一致,很難看出來涂層的位置。未噴金(圖 2),能明顯分辯涂層的位置和厚度,因此,對于涂層樣品來說,背散射電子情況下,應選擇不噴金直接觀測。

 

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圖 1 涂層樣品放大倍數(shù) 500X (噴金)

 

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圖 2 涂層樣品放大倍數(shù) 500X (未噴金)

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